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MFC利用须知
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MFC利用须知1 留意阅读产品阐明书及有关材料2 留意体系设计 用户购置MFM/MFC 后,每每要组建一个体系。发起在体系设计时,不要仅仅...
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MFC利用须知

 

1 留意阅读产品阐明书及有关材料

 

2 留意体系设计

      用户购置MFM/MFC 后,每每要组建一个体系。发起在体系设计时,不要仅仅思索功效的完成,还要思索体系的******性﹑宁静性﹑易操纵性﹑易维护性﹑易扩大性等要素。以下给出几点详细发起:

A. 关于反响体系,发起在MFC 的出气端加装单向阀,以避免非常状况下反响物倒流破坏 MFC 。

B. 关于高压体系,应在MFC  的卑鄙加装背压阀(或别的节省安装)及压力表,以便于******MFC的事情压差。

C. 留意加装过滤器,以污染气源,延伸MFM/MFC 的利用寿命。

D. 关于硅烷如许的遇氛围易构成结晶的气体,应分外留意体系的密闭性(检漏时不要无视减压 器),须要时设计吹洗旁路,随时举行氮气吹洗或正压坚持。

E. 有高频源的体系应留意屏障并分外留意处置好接地题目,比方接纳单点接地。

F. 关于高真空体系,留意气路讨论只管即便增加并接纳VCR 等讨论。

G. MFM/MFC 的安置地位应易于装卸﹑检测﹑调零,并宁静******。

H. 对******性要求极高的体系,应留意冗余设计。

 

3 留意准确利用操纵

      关于比力庞大的体系或利用特别气体的体系,该当创建本人的操纵规程。

 

4 留意轻拿轻放妥善保管

      MFM/MFC 十分精细,应制止遭到撞击和振动。产品不必时留意放在较好的情况中妥善保管。

 

5 留意活期标定

      准绳上该当活期标定。

 

6 留意利用气体与流量计的密封质料相顺应

      我厂消费的流量计通常接纳的密封质料是氟橡胶,能合适大少数气体的利用,包罗HCL 如许的强腐化性气体。但关于氨气,必需利用耐氨橡胶;关于无机溶剂类气体,如丙酮、甲苯等,必需利用硅橡胶;关于利用三氯化硼、三溴化硼等强腐化性介质,必需利用四氟密封或金属密封的流量计。用户在订货和利用中必需分外留意。

 

7 留意******MFC 的事情压差

      即******MFC 进气端和出气真个压力差在其目标范畴之内。常压体系好******,一样平常只需利用减压器即可;高压体系中一样平常要经过减压器和背压阀的联合利用来******