什么是质量流量控制器?
1.什么是质量流量计?什么是质量流量控制器?
各人大概会常常看到,有些地方说质量流量计,有些地方说质量流量控制器。实在,这是有区另外。
质量流量计,即Mass Flow Meter(MFM ), 是一种******丈量气体流量的仪表,其丈量值不因温度或压力的动摇而失准,不必要温度压力赔偿。
质量流量控制器, 即Mass Flow Controller (MFC ),不光具有质量流量计的功效,更紧张的是,它能主动控制气体流量,即用户可依据必要举行流量设定,MFC主动地将流量恒定在设定值上,即便体系压力有动摇或情况温度有变革,也不会使其偏离设定值。质量流量控制器***是一个稳流安装,是一个可以手动设定或与盘算机联接主动控制的气体稳流安装。
复杂来说,质量流量计只丈量不控制。而质量流量控制器,则带有控制阀门,既可以丈量也可以控制气体流量巨细。
2.怎样了解质量流量计 / 质量流量控制器的流量单元?
气体质量流量单元一样平常以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute,每分钟尺度毫升)和SLM(Standard Liter per Minute,每分钟尺度升)来表现。这意味着,这种仪表在差别的利用条件下,指示的流量均是尺度形态下的流量。这是这种仪表和别的流量计的紧张区别,也是SCCM﹑SLM 差别于mL/min﹑L/min 之处。
对少数用户而言,体积流量的表现办法很切合习气﹑便于利用,但也有效户必要晓得单元 工夫内流过介质的质量(如g/min),这个要求是很容易完成的。由于尺度形态下的气体密度是一个常数,可以利便地查到,因此复杂地做一个乘法(以密度乘以多少SLM)即可完成。以是说,在尺度形态下的体积流量***同等于质量流量。